用途:FPC基板与制程载具上的精密贴附
配置:
定位:胶带粘贴 或 真空吸附
兼容性:适配150mm - 300mm FPC尺寸
UPH: 2300
特征:
贴附精度:±30um
X/Y/Z轴重复定位精度:±2um
Θ轴绝对定位精度:±1arcsec
多台设备串接实现更高UPH