FPC基板精密贴附
产品介绍
  • 用途:FPC基板与制程载具上的精密贴附

  • 配置

    • 定位:胶带粘贴 或 真空吸附

    • 兼容性:适配150mm - 300mm FPC尺寸

  • UPH: 2300

  • 特征

    • 贴附精度:±30um

    • X/Y/Z轴重复定位精度:±2um

    • Θ轴绝对定位精度:±1arcsec

    • 多台设备串接实现更高UPH